Eigenschaften von dünnen Glimmpolymerschichten

Die Glimmpolymerisation ist eine der wichtigsten Vakuumtechniken zur Erzeugung dunner Polymerschichten. Dunne Schichten, die durch eine Glimmentladung abgeschieden werden, haben eine Reihe gunstiger Eigenschaften, wie hohe Dichtheit, thermische Stabilitat und elektrisches Isolationsvermogen. Die Schichten konnen auf jeder beliebigen Unterlage abgeschieden werden. Dieses und andere Eigenschaften sind einer Anwendung solcher Schichten forderlich. Unter anewndungstechnischem Gesichtspunkt sind die wichtigsten Eigenschaften das elektrische Verhalten, die thermische Stabilitat und die Haftfestigkeit der Dunnschichten. Glow discharge polymerization is one of the most important vacuum techniques to produce thin polymer films. Thin films made by a glow discharge have some profitable properties like being dense without pinholes, thermally stable and electrically insulating. The films can be deposited on any substrates. These and other properties promote the application of such films. In view of application the most important properties are the electrical behaviour, the thermal stability and the adhesion of the thin films.