스핀밸브 바이오 센서를 이용한 혈액과 나노입자의 자성특성 검출

이온빔 증착 스퍼터링법과 광 리소그래피법으로 FeMn-스핀밸브 바이오 센서를 제작하였다. 혈액내의 Fe를 포함한 헤모글로빈(Hemoglobin) 과 나노 자성입자의 자성검출은 최대 자장감응 약 0.1~0.8%/Oe 인 거대자기저항 스핀밸브 바이오 센싱소자를 이용하였다. 사용된 혈액은 인체의 피였고, Co-페라이트 나노 자성입자는 수용성 무정형 실리카로 코팅이 되었으며, 그 크기의 평균직경의 범위는 9 ㎚에서 50 ㎚이었다. 실제 크기가 5×10 ㎛² 혹은 2×6 ㎛²로 제작된 센싱소자의 4 전극 중 전류 입력단자에 흐르는 감지전류는 1 ㎃로 하였다. 혈액과 나노자성 입자가 소자의 중앙부분으로 떨어졌을 때, 출력신호는 각각 자성 여부의 검출 특성을 알 수 있는 충분한 크기로 나타났다.