Appareil et procédés de précipitation de fluides sur des substrats

2010 
La presente invention se rapporte a un appareil et a des procedes destines a precipiter des fluides, par exemple des fluides chauffes, sur la surface de substrats puis a retirer localement le fluide precipite. L'appareil peut comprendre au moins des premiere et seconde sorties de distribution de fluide qui se trouvent dans une relation mutuellement divergente. L'appareil peut comprendre au moins des premiere et seconde entrees de capture de fluide qui sont localement positionnees respectivement par rapport aux premiere et seconde sorties de distribution de fluide. L'appareil et le procede peuvent etre utilises, par exemple, pour precipiter des fluides sur deux substrats convergents et peuvent etre utilises pour chauffer les surfaces des substrats de maniere a faciliter la liaison par fusion des substrats l'un a l'autre.
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