ESPESORES DE PELÍCULAS DE FOSFURO DE INDIO ELECTRODEPOSITADAS CALCULADOS A PARTIR DE MEDICIONES DE CONCENTRACIÓN ATÓMICA NORMALIZADA

El fosfuro de indio obtenido por electrodeposicion sobre distintos substratos fue caracterizado teniendo en cuenta la morfologia y la composicion. Se observaron diversas morfologias en los depositos, tales como peliculas delgadas y pegados cristales aislados. La formacion depende de la naturaleza del material del substrato. Los materiales utilizados como substratos en estos experimentos fueron titanio, silicio y grafito. Los espesores de las peliculas de fosfuro de indio fueron determinados a partir de mediciones de las concentraciones atomicas normalizadas. Los espesores calculados utilizando esta tecnica estuvieron en muy buena concordancia con los resultados obtenidos por metodos interferometricos. La tecnica es no destructiva y puede ser aplicable a peliculas opacas y a substratos no reflectantes. En el presente trabajo se presenta el modelo empleado para el calculo de los espesores de peliculas delgadas, y ademas, los resultados obtenidos son discutidos y comparados con los determinados mediante otras tecnicas.