Films et stratifiés minces traités en solution, dispositifs comprenant de tels films et stratifiés minces, et procédé pour leur utilisation et leur fabrication

L'invention concerne des dispositifs ayant une structure de film mince ou de stratifie mince comprenant des composes hydroxy oxy d'hafnium et/ou de zirconium, et des procedes pour fabriquer de tels dispositifs. Les composes d'hafnium et de zirconium peuvent etre dopes, typiquement avec d'autres metaux tels que le lanthanum. Des exemples de dispositifs ou composants electroniques pouvant etre fabriques comprennent, sans limitation, des isolateurs, des transistors et des condensateurs. L'invention concerne egalement un procede pour realiser un motif sur un dispositif, le procede utilisant un resist positif ou negatif. Par exemple, une plaque maitre pour une impression lithographique peut etre realisee. Un mode de realisation d'un procede pour realiser un dispositif ayant une barriere a la corrosion est egalement decrit. Des modes de realisation d'un dispositif optique comprenant un substrat optique et un revetement sont egalement decrits. Des modes de realisation d'une regle physique sont egalement divulgues, tel que pour mesurer de facon precise des dimensions a l'aide d'un microscope a electrons.