超精密送り装置およびこれを用いたｘｙテ−ブル並びにテ−ブル移送装置

(57)【要約】 【目的】絶対的な位置を保証し得る超精密送り装置およ びこれを用いたＸＹテーブル並びにテーブル移送装置を 提供する。 【構成】送り量を検出する送り量検出手段Ｓ1と、送り 位置毎の形状誤差Ｅに関する情報と、装置の温度分布に よる熱変形に関する情報Ｈと、外力Ｆによる変形に関す る情報の内の少なくともいずれか一つを逐次検出するた めに装置内部に設けられる情報検出手段Ｓ2，Ｓ3と、情 報検出手段Ｓ2，Ｓ3の検出情報と位置決め誤差Δの関係 及びその他装置各部の形状誤差Ｅと位置決め誤差Δの関 係を予め知識とする記憶手段３０と、送り量検出手段Ｓ 1および情報検出手段Ｓ2，Ｓ3によって逐次検出される 検出情報と前記記憶情報に基づいて補正制御量を求めて アクチュエータＡを制御する計算機Ｃと、を備えたこと を特徴とする。