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Systeme de depot sous vide

2005 
L'objectif de cette invention est d'augmenter l'efficacite et la productivite d'une installation de depot sous vide servant a appliquer une couche sur un substrat, en particulier a deposer des couches vitreuses, vitroceramiques et/ou ceramiques en phase vapeur sur des substrats. A cet effet, un dispositif de maintien de substrat selon l'invention presente des segments mobiles pouvant se placer dans une premiere position pour la pose ou le retrait de substrats et dans une seconde position pour le depot. Cette invention concerne egalement un dispositif d'echange permettant l'echange de materiaux a evaporer a l'interieur d'une chambre de depot sous vide ainsi que des unites de materiaux a evaporer adaptees. Ladite invention se rapporte en outre a une installation de depot sous vide equipee des dispositifs decrits ainsi qu'a un procede correspondant pour enduire des substrats.
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