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リモートH_2プラズマ支援によるCoPtナノドットの高密度形成と帯電・帯磁特性評価(高誘電率膜,界面制御,メモリ技術,ゲート絶縁薄膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)
リモートH_2プラズマ支援によるCoPtナノドットの高密度形成と帯電・帯磁特性評価(高誘電率膜,界面制御,メモリ技術,ゲート絶縁薄膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)
2013
katunori makihara
ryou fukuoka
yuuki kabeya
teruo oota
seiiti miyazaki
Katsunori Makihara
Ryo Fukuoka
Hai Zhang
Yuuki Kabeya
Akio Ohta
Seiichi Miyazaki
Keywords:
Nanotechnology
Computer science
Nanodot
Machine learning
Human–computer interaction
Artificial intelligence
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