光学素子、光学素子の製造方法、及び極端紫外線露光装置

【課題】 厳密な保管環境管理や頻繁な洗浄が不要となり、撥水性や撥油性、防汚染性を発揮することができ、光学特性に対する影響を最小限に抑えることができる光学素子を提供する。 【解決手段】 表面に保護膜を形成したい光学素子本体１と、有機分子を含む溶剤２（開放された容器に収納）を、密閉容器３に入れる。そして、密閉容器３を加熱炉４に入れて所定温度に加熱し、有機分子を蒸発させる。このようにすると、有機分子の蒸気が密閉容器３内の空間を満たし、光学素子本体１の表面において、表面の活性水素基と有機分子に含まれる反応基が化学反応して、光学素子表面に保護膜用有機分子の単分子膜が形成される。有機分子としては、フッ化炭素基を分子の少なくとも一端に有し、活性水素基と反応する官能基を分子の残りの少なくとも一つの端に有する有機分子を使用する。 【選択図】 図１