Adhäsion mikromechanischer Strukturen

Die Oberflachen-Mikromechanik erlaubt es, miniaturisierte mechanische Bauelemente und monolithisch mit Elektronik integrierte Systeme herzustellen. Beispiele reichen von Sensoren und Aktuatoren bis hin zu miniaturisierten chemisch-physikalischen Blutanalysesystemen und Inertial-Navigationssystemen. 1983 erkannte man, das sich das in der Halbleitertechnologie eingesetzte Polysilizium als Ausgangsmaterial fur die mechanischen Elemente eignet. Seit dieser Zeit wurden eine Vielzahl von Prototypen verschiedener Sensoren und Aktuatoren und unlangst auch erste kommerziell verwertbare Sensoren entwickelt. Phanomene, die im Masstab der Alltagswelt keine grose Rolle spielen, konnen in der Mikrowelt drastische Konsequenzen haben. Adhasionskrafte zwischen sich beruhrenden mikromechanischen Bauteilen beispielsweise konnen dazu fuhren, das diese untrennbar aneinander haften bleiben. Fur dieses konkrete Problem wird im folgenden eine Losung beschrieben, die zu Halbleiterprozessen kompatibel ist.