電機−機械変換膜の形成方法、電機−機械変換膜、電機−機械変換素子、液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドを備えた画像形成装置

【課題】電気−機械変換膜のクラックが発生し難い、電気−機械変換膜形成方法を提供する。 【解決手段】第１の電極４２となる基板１上に部分的に表面改質を行う工程と、この電極上にゾルゲル液５をインクジェット方式により部分的に塗布する工程と、部分的に塗布したゾルゲル液を乾燥・熱分解・結晶化する工程と、部分的に塗布したゾルゲル液を乾燥・熱分解・結晶化する工程を繰返し行い所望する膜厚８を得る工程により電気−機械変換膜を形成する電気−機械変換膜の形成方法において、塗布する工程内において、所望パターン領域内でゾルゲル液滴６の着弾時の隣接ドットが、レベリングにより凝集しない間隔で配置されるようにゾルゲル液を滴下する。 【選択図】図３