Vakuum-substratbehandlungsanlage mit notkühleinrichtung

Die Erfindung betrifft eine Vakuum-Substratbehandlungsanlage, umfassend eine Anlagenkammer mit mindestens einer kuhlbaren Anlagenkomponente sowie einer Kuhleinrichtung fur die kuhlbare Anlagenkomponente, die einen mit der kuhlbaren Anlagenkomponente verbundenen Kuhlmittelkreislauf mit mindestens einer ersten Kuhlmittelpumpe umfasst, die durch eine erste Antriebseinrichtung antreibbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Kuhleinrichtung weiterhin eine Notkuhleinrichtung mit einem parallel zur ersten Kuhlmittelpumpe verlaufenden Zweig des Kuhlmittelkreislaufs umfasst, in welchem mindestens eine zweite Kuhlmittelpumpe angeordnet ist, die durch eine zweite Antriebseinrichtung antreibbar ist, und die zweite Antriebseinrichtung durch Druckgas betreibbar ist.