단결정 성장용 히터 및 이를 이용한 단결정 성장장치 및 성장방법

본 발명은 단결정을 성장시키기 위해 원료를 용융시키는 히터 및 용융된 원료로부터 시드 결정을 중심으로 단결정을 성장시키는 단결정 성장장치 및 성장방법에 관한 것이다. 단결정 성장용 히터는, 도가니 둘레의 측부에 수직 방향으로 2단 이상 분리된 복수의 히터부를 구비한다. 이에 의해, 도가니 상, 하부의 온도구배를 크게 하면서도 안정적으로 제어할 수 있어 대구경 단결정을 성장시킬 수 있으며, 복수의 히터부 각각이 위치에 따라 폭과 두께를 달리하는 발열체로 구성됨으로써 수직, 수평 방향으로 온도 구배를 크게 할 수 있다.