Arclöschverfahren und leistungsversorgungssystem mit einem leistungswandler

Arcloschverfahren zur Loschung von Arcs in einer Plasmakammer (6) eines Plasmasystems (1), umfassend die Verfahrensschritte: a. Erzeugung einer Leistung wahrend eines Plasmabetriebs zur Erzeugung eines Plasmas in der Plasmakammer und zur Durchfuhrung eines Plasmabearbeitungsprozesses unter Verwendung des erzeugten Plasmas, indem mit einem Digital-Analog-Wandler (DAC) (41) ein Analogsignal generiert wird, das einem Verstarkerpfad (31, 32) zugefuhrt und dort verstarkt wird; b. Uberwachung des Plasmasystems hinsichtlich des Auftretens eines Arcs durch eine Aberkennung; c. bei Erkennen eines Arcs im Schritt b. : Ansteuern des DACs durch die Aberkennung, derart, dass ein analoges Ausgangssignal des DACs verandert wird.