加熱処理装置、加熱処理方法、制御プログラム、コンピュータ読取可能な記憶媒体

【課題】 基板が大型であっても基板の破損を確実に防止することができるとともに、スループットの向上を図ることが可能な加熱処理装置を提供する。 【解決手段】 加熱処理装置は、基板を一方向に搬送する搬送路としてのコロ搬送機構と、搬送路を搬送されている基板を加熱する加熱機構とを具備し、加熱機構は、搬送路に沿って搬送方向上流側から予備加熱部７ａと主加熱部７ｂとが配置されてなり、主加熱部７ｂは第１の温度に設定され、予備加熱部７ａは第１の温度よりも高い第２の温度に設定されており、基板Ｇを、予備加熱部７ａにおいて第１の温度近傍まで加熱した後、主加熱部７ｂにおいて第１の温度で加熱する。 【選択図】 図５