A method for determining and compensating geometrical aberrations

Die Erfindung betrifft Verfahren zur Bestimmung und Kompensation von geometrischen Abbildungsfehlern, die bei der Abbildung eines Objektes durch sequentielle Einzel- oder Multispotabtastung mittels eines mikroskopischen Abbildungssystems entstehen, umfassend folgende Verfahrensschritte: – Festlegen eines Bezugsobjektes mit einer definierten ebenen Struktur, – Erzeugung eines von geometrischen Abbildungsfehlern freien elektronischen Bilddatensatzes dieser Struktur, – Erzeugen mindestens eines elektronischen Ist-Bilddatensatzes mit dem Abbildungssystem, – Vergleichen des Ist-Bilddatensatzes mit dem Referenz-Bilddatensatz bezuglich der Orte derjenigen Bildpunkte, die jeweils denselben Objektpunkt als Ursprung haben, – Bestimmen von Orts-Abweichungen im Ist-Bilddatensatz gegenuber dem Referenz-Bilddatensatz, – Speichern ermittelter Orts-Abweichungen als Korrektionsdaten, – Kompensation der geometrischen Abbildungsfehler durch Korrektur der Orts-Abweichungen im Ist-Bilddatensatz anhand der Korrektionsdaten.