Appareil à plasma micro-ondes et procédé de traitement des matériaux

L'invention concerne un appareil a plasma micro-ondes servant a traiter un materiau et comprenant une chambre a plasma, une source de rayonnement micro-onde et un guide d'onde guidant le rayonnement micro-onde de la source de rayonnement micro-onde a la chambre a plasma. Un gaz de procede s'ecoule a travers la chambre a plasma et le rayonnement micro-onde se couple au gaz de procede pour produire un jet de plasma. Un materiau de procede est introduit dans la chambre a plasma, se trouve entraine dans le jet de plasma et est ainsi transforme en flux de gouttelettes ou de particules de produit. La taille, la vitesse, la temperature et l'etat de fusion des gouttelettes ou des particules de produit sont sensiblement plus uniformes que ceux des gouttelettes ou des particules produites par les dispositifs anterieurs.