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自己保持機能を有する光クロスコネクトスイッチの研究 (第8回知能メカトロニクスワークショップ講演論文集) -- (S3. MEMS(2))
自己保持機能を有する光クロスコネクトスイッチの研究 (第8回知能メカトロニクスワークショップ講演論文集) -- (S3. MEMS(2))
2003
mituhiro iwase
fumikazu oohira
kenzi watanabe
Keywords:
Electronic engineering
Microelectromechanical systems
Materials science
Nanotechnology
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