液体原料用ｃｖｄ装置、および液体原料を用いたｃｖｄプロセスと、その液体原料

(57)【要約】 【目的】 液体原料の輸送過程、気化過程、成膜過程に おいて、原料成分の固化による粒子析出による不具合を 防止した液体原料用ＣＶＤ装置を得るとともに、組成ず れの無い良質な薄膜を基板上に形成できる液体原料を用 いたＣＶＤプロセスおよび、液体原料を得る。 【構成】 密閉され、溶媒（ここではＴＨＦ）が貯蔵さ れた溶媒容器１８にはバルブ２０および２１の一方端か ら延在する配管が接続れ、バルブ２０の他方端から延在 する配管はバルブ１２の他方端から延在する配管に共通 に接続されている。 【効果】 パーティクルの原因になったり、液体原料容 器１の交換後に、新たに液体原料を流したときに配管内 に残っていたＳｒ（ＤＰＭ） 2 が再溶解し溶液濃度が変 化（増大）することを防止して、安定な原料供給ができ る。