可動電極を有する装置、可動ミラー装置、振動型ジャイロスコープ及びこれらの製造方法

【課題】 簡単な製造プロセスで製造できながらも、基板垂直方向のいずれの向きに物理量が作用したかを検知すること。 【解決手段】 可動電極１４８ａは、ｚ軸方向（基板垂直方向）に変位可能である。可動電極１４８ａと固定電極１３２の基板対向面１４７ａ、（１３１ａ、１３１ｂ）は基板１２０に平行な平坦状である。これらの基板対向面はｚ軸方向の位置が等しい。両電極１４８ａ、１３２の検出面はｚ軸方向に伸びている。可動電極１４８ａの検出面１４９ａ−１は全体が平坦である。固定電極１３２の検出面は、基板１２０と離反する側に位置するとともに可動電極１４８ａの検出面１４９ａ−１との距離が長い第１平面部１３３ａと、基板１２０側に位置するとともに上記距離が短い第２平面部１３３ｂで構成されている。 【選択図】 図４