Procede de generation de donnees, dispositif de generation de donnees, et programme

La presente invention concerne un procede de generation de donnees, un dispositif ainsi qu’un programme de generation de donnees de dessin utilise pour dessiner toutes les donnees de figures de conception generales avec une precision de l’ordre de 1 a 4 nm par rapport aux procedes et dispositifs de dessin pour dessiner un motif d’un reseau en deux dimensions avec un projecteur qui peut etre regule par niveau. Le procede de generation de donnees est utilise pour un appareil d’exposition ayant une fonction de projection de projecteurs pouvant etre regules a plusieurs niveaux sur le film photosensible sur un substrat dans un reseau a deux dimensions. Dans le procede, la valeurs de gradation des projecteurs sont generees selon les donnees de figures de conception. Les donnees de reference decrivant les combinaisons des valeurs de gradation sur la base du rapport positionnel entre le contour de la figure et le projecteur pour chaque caracteristique de contour de la figure sont preparees precedemment. La caracteristique du contour dans les donnees de figure de conception proche de la position de chaque projecteur est evaluee, une combinaison des valeurs de gradation dans les donnees de reference. La caracteristique de contour dans les donnees de figure de conception proche de la position de chaque projecteur est evaluee, une combinaison des valeurs de gradation dans les donnees de reference correspondant au rapport positionnel est selectionnee, et les valeurs de gradation sont determinees.