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기판 온도 변화에 따른 AlN 박막 성장에 잔류 산소가 미치는 영향
기판 온도 변화에 따른 AlN 박막 성장에 잔류 산소가 미치는 영향
2008
김병균
이을택
Eung-Kwon Kim
정석원
Yonghan Roh
Keywords:
Engineering physics
Materials science
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