フィルム蒸着用ペレット体、その製造方法、及び酸化珪素蒸着フィルムの製造方法

【課題】安定してスプラッシュ頻度を少なくさせ、しかも酸化珪素蒸気の蒸発速度も高め、信頼性の高いガスバリアフィルムを製造するためのフィルム蒸着用ペレット体、その製造方法、及び酸化珪素蒸着フィルムの製造方法を提供する。 【解決手段】主にＳｉとＯとからなり、Ｏ含有量が３７〜４５質量％、ＢＥＴ比表面積０．１〜２０ｍ 2 ／ｇ、嵩密度が０．５〜１．５ｇ／ｃｍ 3 、最大寸法が２〜５０ｍｍの範囲であることを特徴とするペレット体。 【選択図】なし