Hard lubricant film and hard lubricating coating coated tool
2013
硬質且つ耐摩耗性を有する硬質潤滑被膜および硬質潤滑被膜被覆工具を提供する。 (Cr a Mo b W c V d B e ) 1−x−y C x N y のA層22と、(Cr a Mo b W c V d B e ) 1−x−y−z C x N y O z のB層24とが、Cr、Mo、W、V、Bの組成比の制御及び成膜時の各種反応ガスの制御により成膜され、又は成膜時の各種反応ガスの制御のみで成膜され、交互に2層以上積層されるものであり、A層22の原子比a乃至e及びy、x+yは所定の範囲内にあり、B層24の原子比a乃至e及びx、y、z及びx+y+zは所定の範囲内にあり、且つA層22の膜厚D1は2nm以上1000nm以下、B層24の膜厚D2は2nm以上500nm以下、総膜厚Dは0.1μm以上10.0μm以下の範囲内であるため、硬質且つ耐摩耗性を有する硬質被膜10及びエンドミル12を得る とができる。
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