Composition pour former une matiere dielectrique photosensible, et film de transfert, matiere dielectrique et elements electroniques utilisant celle-ci
2002
L'invention concerne une composition pour former une matiere dielectrique photosensible qui contient des particules inorganiques, une resine pouvant etre developpee a l'aide d'un reactif alcalin et un additif. L'additif contient (C1) un compose renfermant un groupe quinonediazide, (C2) un compose renfermant au moins deux groupes amino modifies de maniere a presenter une fraction alkyl ether et (C3) un agent acidogene thermosensible ; ou la composition comprend (A-I) une poudre inorganique ultrafine presentant un diametre moyen de particules inferieur ou egal a 0,05 νm, et (A-II) une poudre fine inorganique presentant un diametre moyen de particules superieur ou egal a 0,05 νm. L'invention concerne aussi une matiere dielectrique et des elements electroniques formes a partir de la composition. Cette composition permet de former une couche de matiere dielectrique a perte de chaleur reduite, qui peut etre chauffee a temperature reduite, possede une constante dielectrique elevee et presente une bonne precision dimensionnelle.
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