複合配線基板、フレキシブル基板、半導体装置、および複合配線基板の製造方法

1997 
(57)【要約】 【課題】 集積度が極めて高い半導体素子の搭載に対応 でき、小型、薄型でかつ信頼性の高い配線基板を提供す る。 【解決手段】 リジッドな第1の絶縁層21の第1の面 に配設された配線層11のビアランド11aと、フレキ シブルな第2の絶縁層22の第2の面に配設された配線 層14のビアランド14aとを、第1の絶縁層21と第 2の絶縁層22との間に挟持された第3の絶縁層23 と、ビアランド11aとビアランド14aとを接続する ように第3の絶縁層23を貫通して配設された導電性ピ ラーにより電気的および機械的に接続する。
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