Ozone gas concentration method

一种臭氧气体浓缩方法，并列配置向内部填充非冷却状态的吸附剂而成的至少两个吸附筒，使容置在各吸附筒内的非冷却状态的吸附剂在臭氧及氧气混合气体中选择性地吸附臭氧气体，且在进行臭氧气体脱离操作时，通过对各吸附筒进行减压处理来使臭氧气体从吸附剂脱离，由此浓缩提纯臭氧气体，另外，控制上述至少两个吸附筒，使两个吸附筒交替反复进行吸附工序和脱离工序，且在一个吸附筒处于吸附工序时使另一个吸附筒处于脱离工序。 在从臭氧气体的吸附工序要向脱离工序切换时，使处于吸附工序的吸附筒和处于脱离结束阶段的吸附筒相连通，使得吸附筒内部的压力的均等化，之后，使处于吸附阶段的吸附筒与减压发生单元相连通，来使臭氧气体从吸附剂脱离。