パターン形成方法、エッチング方法、電子デバイスの製造方法、及び、電子デバイス

【課題】多段レジストパターンを形成可能なパターン形成方法、及び、これを用いたエッチング方法、並びに、これを含む電子デバイスの製造方法、及び、この製造方法により製造された電子デバイスを提供する。【解決手段】（ｉ）基板上に、下記工程（ｉ−１）、下記工程（ｉ−２）及び下記工程（ｉ−３）をこの順で行い、第１のネガ型パターンを形成する工程、（ｉ−１）基板上に、酸の作用により極性が増大して有機溶剤を含む現像液に対する溶解性が減少する樹脂を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物（１）を用いて第１の膜を形成する工程（ｉ−２）第１の膜を露光する工程（ｉ−３）露光した第１の膜を、有機溶剤を含む現像液を用いて現像し、第１のネガ型パターンを形成する工程（ｉｉｉ）少なくとも第１のネガ型パターン上に、酸の作用により極性が増大して有機溶剤を含む現像液に対する溶解性が減少する樹脂を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物（２）を用いて第２の膜を形成する工程、（ｖ）第２の膜を露光する工程、および、（ｖｉ）露光した第２の膜を、有機溶剤を含む現像液を用いて現像し、少なくとも第１のネガ型パターン上に第２のネガ型パターンを形成する工程、を有するパターン形成方法。【選択図】なし