Système optique d'éclairage, appareil d'exposition, procédé de production d'un dispositif et unité de polarisation lumineuse

L'invention concerne un systeme optique d'eclairage offrant une latitude superieure en termes de modification de la forme de la distribution de l'intensite de la pupille et l'etat de polarisation sans qu'il soit necessaire de remplacer des elements optiques. Le systeme optique d'eclairage, destine a eclairer un plan eclaire en utilisant une lumiere fournie par une source lumineuse, comprend : un modulateur spatial de lumiere qui possede une pluralite d'elements optiques commandes individuellement, qui sont places en reseau dans un plan predetermine, et qui forme de maniere variable une distribution de l'intensite lumineuse au niveau de la pupille d'eclairage du systeme optique d'eclairage ; et une unite de polarisation lumineuse qui est disposee dans un endroit couple optiquement avec un plan predetermine sur le trajet optique, en direction du plan eclaire par rapport au modulateur spatial de lumiere, et qui modifie l'etat de polarisation d'une partie des faisceaux lumineux parmi les faisceaux lumineux incidents, puis emet les faisceaux.