Procédés d'inspection de dégazage de cuve

2011 
La presente invention concerne un procede pour inspecter le produit d'un processus d'enduction. Dans celui-ci, la liberation d'au moins une espece volatile a partir de la surface enduite dans l'espace de gaz adjacent a la surface enduite est mesuree et le resultat est compare au resultat pour au moins un objet de reference mesure dans les memes conditions d'essai. Par consequent, la presence ou l'absence du revetement, et/ou une propriete physique et/ou chimique du revetement peut etre determinee. Le procede est utile pour inspecter des articles enduits quelconques, par exemple des cuves. La presente invention concerne en outre son application sur l'inspection de revetements de PECVD fabriques a partir de precurseurs d'organosilicium, en particulier de revetements de barriere.
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