Verfahren zur Herstellung einer thermionischen Kathode und nach diesem Verfahren hergestellte thermionische Kathode

Die Kathode (4) - deren Material im wesentlichen hochschmetzendes Metall, wie W, Mo, Ta, Nb, Re und/oder C ist - besteht aus einer feinstkristallinen, mechanisch stabilen Trigerschicht (5), einer mit emittierendem Stoff, in der Regel aus der Scandiumgruppe, insbesondere aus der Gruppe der Seltenerdmetalle, vorzugsweise mit Th oder dessen Verbindungen, stark angereicherten Schichtenfolge (6) und einer thermisch stabilen vorzugsorientierten Deckschicht (7). Samtliche Schichten werden uber die Gasphase, z.B. durch CVD-Verfahren, auf eine je nach der gewunschten Kathodengeometrie geformte Unterlage (1) aufgebracht. Die Unterlage (1) wird nach der Beendigung der Abscheidung entfernt.