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2115 コムドライブアクチュエータを用いた変位計測(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
2115 コムドライブアクチュエータを用いた変位計測(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
2008
kati jun suzuki
sinbo hosogi
hara hasiguti
Keywords:
Control theory
Self-oscillation
Physics
Quantum electrodynamics
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