CdIn 2 O 4 薄膜气敏特性的研究

在 Ar+O2 混合气体中用射频反应性溅射方法制备了纯的和 Pt掺杂的 Cd In2 O4薄膜 ,用 XRD,AES等方法分析了薄膜的结构和化学成分 .测试了两种薄膜对酒精气体的气敏特性 ,包括灵敏度随温度、气体浓度的变化以及传感器元件的响应曲线 ,并对气敏机理进行了讨论 .