heat flow sensor element and a vibrating gas sensor comprising at least one such sensor

Capteur de flux thermique comportant - un support (2), - un element vibrant (4) destine a etre mis en vibration par rapport au support (2), - des moyens de suspension (14) dudit element vibrant (4) par rapport a l'element vibrant (4), - des moyens de chauffage (10) de l'element vibrant (4), - des moyens d'excitation electrostatique (8) de l'element vibrant (4) de sorte a le mettre en vibration a sa frequence de resonance, - des jauges piezoelectriques de detection (12) de la variation de la frequence de resonance de l'element vibrant (4), es jauges formant des moyens de chauffage par effet Joule de l'element vibrant (4) et les moyens de suspension (14) comportent deux poutres formes par des nanofils de sorte a reduire les pertes thermiques de l'element vibrant vers le support.