一种薄膜晶体管、阵列基板及其制备方法、显示装置

本发明实施例提供了一种薄膜晶体管、阵列基板及其制备方法、显示装置，涉及显示技术领域，可有效改善与有源层相接触的绝缘层的界面缺陷，提高TFT导通时的电性能稳定性。该制备方法包括：在衬底基板上形成逐层设置且相互接触的有源层以及绝缘层的步骤；形成所述绝缘层的步骤包括：形成至少一层第一绝缘层；所述至少一层第一绝缘层中的一层与所述有源层相接触；其中，形成所述第一绝缘层的步骤包括：形成由硅氧化物构成的第一绝缘薄膜；利用含填充原子的修复源，对所述第一绝缘薄膜进行修复处理，以使所述第一绝缘薄膜中的至少部分硅悬挂键结合所述填充原子，形成第一绝缘层。用于薄膜晶体管及包括该薄膜晶体管的阵列基板、显示装置的制备。