碱土金属掺杂SnO 2 薄膜气体传感器

经过真空镀锡膜、氧化和化学浸渍，制作了碱土金属掺杂ＳｎＯ２薄膜气敏元件，并测试了元件的气敏特性．结果表明，元件对乙醇和丙酮气体灵敏度和选择性得到提高、而对苯、丁烷、液化石油气、氨气、氢气和煤气不敏感．