Système de traitement thermique pour durcir des films diélectriques

L'invention concerne un systeme de traitement thermique et un procede pour durcir un film dielectrique. Le systeme de traitement thermique est configure pour traiter le film dielectrique avec un rayonnement ultraviolet (UV) et un rayonnement infrarouge (IR) afin de durcir le film dielectrique. Le systeme de traitement thermique peut comprendre une matrice si les dispositifs emettant de la lumiere IR et UV (DEL) ont ete configures pour irradier un substrat ayant un film a constante dielectrique faible (k faible). Le procede seche le film dielectrique pour retirer les contaminants du film et expose le film dielectrique a une seule etape de rayonnement ultraviolet et de rayonnement IR.