Dispositif de traitement à micro-ondes et à plasma

La presente invention concerne un dispositif de traitement a micro-ondes qui est apte a generer un plasma uniforme et de haute densite, a generer un plasma de grande surface, et a prevenir la destruction thermique d'une fenetre dielectrique meme durant un fonctionnement a haute puissance, afin d'executer une operation a grande vitesse et en grande quantite. Le dispositif de traitement a plasma est destine a generer du plasma dans une chambre de traitement en appliquant une energie a micro-ondes a l’interieur de la chambre. Le dispositif comprend un guide d’ondes adapte pour fournir l’energie a micro-ondes; une pluralite de trous de couplage a micro-ondes realisee dans la direction axiale du guide d’ondes; et un element dielectrique constitue d'une feuille qui est agencee dans la direction axiale du guide d'ondes et en dessous des trous de couplage a micro-ondes, et a travers laquelle une energie a micro-ondes peut etre transmise. Un degagement est prevu entre la pluralite de trous de couplage a micro-ondes et l’element dielectrique. Enfin, le dispositif comprend des moyens de refroidissement pour refroidir l'element dielectrique. Dans l’invention, les trous de couplage a micro-ondes utilises sont de preference des trous de couplage a micro-ondes annulaires.