Interconnexion beol avec des nanotubes de carbone

Selon la presente invention, un circuit integre ayant des interconnexions BEOL peut comprendre : un substrat comprenant un dispositif semi-conducteur ; une premiere couche de dielectrique sur la surface du substrat, la premiere couche de dielectrique comprenant un trou de liaison rempli pour realiser un contact electrique avec le dispositif semi-conducteur ; et une seconde couche de dielectrique sur la premiere couche de dielectrique, la seconde couche de dielectrique comprenant une tranchee courant perpendiculaire a l'axe longitudinal du trou de liaison rempli, la tranchee etant remplie par une ligne d'interconnexion, la ligne d'interconnexion comprenant des nanotubes de carbone reticules et etant physiquement et electriquement reliee au trou de liaison rempli. Des nanotubes de carbone (CNT) reticules ont subi une croissance sur des particules de catalyseur sur la base de la tranchee en utilisant des conditions de croissance comprenant une pression partielle de gaz de precurseur superieure a la pression partielle de transition a laquelle une croissance de nanotubes de carbone passe d'un mode de croissance de nanotubes de carbone paralleles a un mode de croissance de nanotubes de carbone reticules.