무색수차 광소자-회전형 타원계측기 및 이를 이용한 시편의 뮬러-행렬 측정 방법

본 발명은 광소자 회전형 타원계측기에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 시편에 의해 반사 또는 투과된 광의 편광상태 변화를 측정 및 분석하여 시편의 뮬러 행렬성분을 측정하는데 사용되는 타원계측기에 관한 것이다. 본 발명은 일 실시예는 시편을 향하여 입사광을 방사하는 광원, 상기 입사광의 진행경로 상 상기 광원과 상기 시편 사이에 배치되며 상기 광원에서 방사된 상기 입사광을 편광시키는 고정 편광자, 상기 입사광의 진행경로 상 상기 고정편광자와 상기 시편 사이에 배치되며 상기 고정편광자를 통과한 광이 입사되며 상기 입사된 광을 편광시키는 등속으로 회전하는 등속회전 편광자, 상기 등속회전 편광자를 통과하여 편광된 광이 상기 시편에 의해 반사 또는 투과되면서 편광상태가 변화되어 입사되며 상기 입사된 광을 편광시키는 등속으로 회전하는 등속회전 검광자, 상기 등속회전 검광자를 통과하여 편광된 광이 입사되며 상기 입사된 광을 편광시키는 고정 검광자, 상기 고정 검광자를 통과하여 편광된 광이 입사되며 입사된 광의 노광량을 검출하고 상기 노광량에 상응하는 광의 복사속의 값을 출력하는 광검출기를 포함할 수 있다.