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Acemap > Paper > LPCVD法で作製した3C-SiC薄膜のESR (II) | 文献情報 | J-GLOBAL 科学技術総合リンクセンター

LPCVD法で作製した3C-SiC薄膜のESR (II) | 文献情報 | J-GLOBAL 科学技術総合リンクセンター

1992 
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