Systemes pour le traitement discretise de zones de substrat

La presente invention a trait a des procedes et des systemes pour le traitement discretise combinatoire de zones d'un substrat tel que pour la decouverte, la mise en oeuvre, l'optimisation, et la qualification de nouveaux materiaux, des traitements, et des schemas d'integration de sequences de traitement utilises dans la fabrication de circuits integres. Un substrat portant des zones de traitement differentiel est ensuite traite par la delivrance de materiaux vers ou la modification des zones du substrat.