Sm掺杂核-壳结构介孔SiO 2 @CeO 2 复合颗粒的制备和抛光性能

在低模量介孔SiO2 （Mesoporous silica，mSiO2）微球表面负载Sm掺杂CeO2纳米粒子，制备了具有均匀完整核-壳结构的非刚性mSiO2@Ce1-xSmxO2（x=0，0.23）复合颗粒。借助XRD、SEM、HRTEM、STEM-EDX Mapping、Raman光谱和N2吸-脱附等技术对产物进行结构表征，利用AFM和三维光学轮廓仪评价Sm元素掺杂处理对mSiO2@Ce1-xSmxO2（x=0，0.23）复合颗粒抛光效果的影响。讨论了Sm掺杂复合磨粒的高效无损超精密抛光机制。结果表明：掺杂处理可使mSiO2@Ce1-xSmxO2（x=0，0.23）复合颗粒的抛光效率提高近36%，达到84 nm/min，同时获得具有原子量级精度的加工表面，抛光后SiO2薄膜的粗糙度平均值和均方根分别为0.14和0.17 nm。