Excimerlampe mit einer Emissionswellenlänge von 172 nm

Excimerlampe haben ein Entladungsgefas, das einen Entladungsraum einschliest, der ein Xenon-haltiges Fullgas enthalt, welches bei dielektrischer Entladung Excimermolekule mit einer Emissionswellenlange von 172 nm erzeugt, wobei das Entladungsgefas mindestens im Bereich eines Emissionsfensters aus synthetisch erzeugtem Quarzglas besteht. Um hiervon ausgehend das Emissionsfenster mit hoher Strahlenbestandigkeit auszustatten, die sich insbesondere darin in einer geringe zeitliche Veranderung der UV-Emission zeigt, wird erfindungsgemas vorgeschlagen, dass das Quarzglas des Emissionsfensters durch Flammenhydrolyse eines siliziumhaltigen Einsatzmaterials und Direktverglasen erzeugt ist und einen mittleren Gehalt an Hydroxylgruppen von mindestens 900 Gew.-ppm, einen mittleren Wasserstoffgehalt von weniger als 2 × 10 18 Molekulen/cm 3 , einen mittleren Gehalt an Chlor von weniger als 1 Gew.-ppm und eine fiktive Temperatur unterhalb von 1050°C aufweist.