Techniques de mesure de grandeurs électriques adaptées aux nano-circuits

Cet article passe en revue les differentes techniques fondees sur la microscopie a force atomique, capables de fournir une information electrique avec une resolution spatiale de l'ordre du nanometre ou de la dizaine de nanometres. Les grandeurs mesurees peuvent etre le courant, la capacite, le champ ou le potentiel electrique. Chaque technique est decrite precisement au moyen d'exemples tires de la recherche en micro-nanoelectronique, et le perimetre de ses performances est delimite. Les aspects metrologiques de telles mesures appliquees aux nanocircuits sont mis en avant, les sources d'erreur identifiees et des pistes d'amelioration proposees.