Plasma-Behandlungsvorrichtung zur Herstellung von Beschichtungen und Verfahren zur innenseitigen Plasmabehandlung von Behältern
2011
Vorrichtung (1) zur Plasma-Behandlung von beschichteten Behaltern, mit folgenden Merkmalen: – zumindest einer Behalteraufnahme-Vorrichtung (7) mit einer Behalteraufnahme-Kammer, die wenigstens ein offenes Ende aufweist, durch welches ein zu behandelnder Behalter einfuhrbar ist, so dass eine Offnung des Behalters zum offenen Ende der Behalteraufnahme-Kammer weist; – ein Schlieselement, welches mit der Behalteraufnahme-Vorrichtung uber eine Hubvorrichtung zusammenfuhrbar ist, so dass beim Verschliesen mittels der Hubvorrichtung durch aufeinander zu Bewegen von Schlieselement und Behalteraufnahme-Vorrichtung ein aufgenommener Behalter an einer Offnung des Behalters gegenuber dem auseren Atmospharendruck abgedichtet wird; – eine Einrichtung (19) zum Erzeugen wenigstens einer gegenuber dem auseren Atmospharendruck abgeschlossenen Plasma-Zone mit zwei Elektroden, uber die ein elektrisches oder elektromagnetisches Feld im Inneren eines aufgenommenen und abgedichteten Behalters erzeugbar ist, wobei die Einrichtung zum Erzeugen einer Plasma-Zone weiterhin – eine Einrichtung zum Entfernen des atmospharischen Restgases aus dem Behalter uber eine gasdichte Verbindung am Schlieselement umfasst; – zumindest ein Behandlungswerkzeug (9), das fur wenigstens einen Teilschritt der Oberflachen-Behandlung der Behalter mit dem offenen Ende der Behalteraufnahme-Kammer der Behalteraufnahme-Vorrichtung zusammenfuhrbar ist, wobei das Behandlungswerkzeug eine Vorrichtung zum Aufbringen eines organischen Films auf der Innenseite eines Behalters umfasst.
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