露光装置、露光方法、及びステージ装置

【課題】ステージ近傍の空間の温度揺らぎを高効率的に解消する。 【解決手段】ウエハステージ１３０と投影光学系ＰＬの間の空間において、ウエハステージ１３０が＋Ｙ方向に移動するときには、給排気部１５６から気体を供給し、給排気部１５７から気体を排出することにより、＋Ｙ方向の気流を生成し、ウエハステージ１３０が−Ｙ方向に移動するときには、給排気部１５７から気体を供給し、給排気部１５６から気体を排出することにより、−Ｙ方向の気流を生成する。 【選択図】　　　図１