Les microsystèmes électromécaniques optiques

Depuis le debut des annees 80, naissance des premiers systemes miniaturises associant des microsystemes electromecaniques (MEMS) en technologie silicium et de l’optique, les fonctions optiques realisees, les technologies de fabrication et d’integration employees et les applications potentielles des microsystemes electromecaniques optiques (MEMS optiques) et des microsystemes optoelectromecaniques (MOEMS) se sont tres largement etendues et diversifiees. Des contributions a ces evolutions sont illustrees ici par quelques exemples de projets en cours dans notre laboratoire.