CONSTRUÇÃO DE UM LASER DE N2 TEA PARA APLICAÇÕES EM MICROELETRÔNICA

A microeletronica vem se desenvolvendo com novas tecnologias e a hibridizacao das antigas com novos conceitos e novos instrumentos. Neste artigo procuramos mostrar as vantagens da fotoreproducao coerente na operacao de padroes submicrometricos. Para tanto descrevemos a construcao de um laser de N2 TEA que e a primeira fase de tal trabalho. Foram obtidas picos de -200 kw,f=5 pps, facilmente controlaveis com Thyratron.