マイクロコンタクトプリンティング（μＣＰ）用スタンプの製造方法

【課題】ＰＤＭＳが用いられたμＣＰ用スタンプを製造する方法であって、気泡混入をほぼ完全に防止することが可能であり、均質にパターン印刷を実施することが可能なμＣＰ用スタンプを製造することができる、μＣＰ用スタンプの製造方法を提供することを主目的とする。 【解決手段】表面に微細凹凸パターンが形成されたマスター版を用い、当該マスター版上に、ＰＤＭＳ膜を塗布する塗布工程と、基板を用い、上記塗布されたＰＤＭＳ膜上に上記基板を接着させる接着工程と、上記マスター版から上記ＰＤＭＳ膜および基板を剥離する剥離工程とを有するμＣＰ用スタンプの製造方法であって、上記接着工程において、上記ＰＤＭＳ膜と上記基板とを接触させる速度が５μｍ／ｓ以下であることを特徴とする、μＣＰ用スタンプの製造方法を提供することにより、上記課題を解決するものである。 【選択図】図１